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运行实绩及能力介绍
设备部作为半导体管道及研究所/实验室气体管道专业施工部门,制造设备内部的管道和零件及施工。

工程实例

PROJECT 相关业务
客户 主要事项 日志
客户三星电子 器兴 半导体 主要事项1Line ~ 9Line 真空管道 制作/安装 日志1998 ~ 2000
客户三星电子 器兴 半导体 主要事项SLine, 14Line 真空管道 制作/安装 日志2005 ~ 2007
客户三星电子 华城 半导体 主要事项10Line ~ 13Line 真空管道 制作/安装 日志2001 ~ 2005
客户三星 天安/汤井 萤幕 主要事项洗涤器/冷却器 引入管道,真空管道工程 日志1998 ~ 2013
客户三星综合技术院 主要事项加建无尘室/实验室,搬迁工程 : 第一、二阶段管道 日志1998 ~ 2013
客户三星电子材料库 主要事项加建第一阶段管道,连接第二、三阶段管道 日志2013 ~ 2014
保養維修相关业务
客户 主要事项 日志
客户三星电子 器兴 半导体 主要事项1Line ~ 9Line, 14Line 真空管道保养维修 日志1998 ~ 2008
客户三星电子 华城 半导体 主要事项10Line ~ 13Line 真空管道保养维修 日志2001 ~ 2008
客户三星综合技术院 主要事项第二丶三阶段管道保养维修 日志1998 ~ 2014
客户三星电子材料库 主要事项第二丶三阶段管道保养维修 日志2014 ~ 현재

施工能力

初次管道施工
  • 1. 半导体/研究所管道新设及加设工程
  • 2. 副设备管道加设工程
无尘室主要管道工程
无尘室主要管道工程
副管道加设工程&连接工程
第二次管道施工
  • 1. 半导体及研究所维修保养工程
    管道施工丶排管道施工丶浠水及废水/去离子水及废液排管道施工
  • 2. 设备内部管道及ASS'Y产品制作/施工
GAS LINE
PCW LINE
EXHAUST LINE
真空管道施工
  • 1. 半导体主设备▶真空泵▶洗涤器▶排
  • 2. 拜托客户丶现场会议及实测丶制作丶施工
  • 3. 制作及送纳PUMP ADAPTOR及设备内部排管
  • 4. 各种真空配件及半制成品加工及制作
PUMP FORE LINE
SCRUBBER LINE
PUMP FORE LINE/EXHAUST LINE