본문 바로가기

设备部门

home > 设备部门 > SCRUBBER > BURN TYPE > TRITON
TRITON
应用Pre-Wet Module,通过前处理水溶性气体及粉末,PM周期极大化的机型
  • 机型TRITON
  • 气体处理方式WET BURN WET
  • 处理容量最大500LPM
  • 尺寸900(W)X1050(D)X1850(H)
TRITON
把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体,净化而排放的设备

产品特点

  • Pre Wet System : 初次水处理延长PM周期
  • 工程程序个别Flame Mode:节省能源
  • 高速空气燃烧器:维持稳定的火焰和低NOX排放
  • 刮刀系统:防止粉末积压

可处理的气体

  • 易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
  • 水溶性气体 : DCS, NH3, ETC