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> 设备部门 > SCRUBBER > BURN TYPE > TRITON
BURN TYPE
TRITON
UN2005A-PL/PLD
ECOBRID1000/2000
NECA4000
PLASMA TYPE
ATOM1000S
ATOM1000L
HEATER TYPE
UN2000A-BW
MAGMA1000
MAGMA3000
DRY TYPE
ARENS
ETC
W3000
UN2000A-DC
TRITON
应用Pre-Wet Module,通过前处理水溶性气体及粉末,PM周期极大化的机型
机型
TRITON
气体处理方式
WET BURN WET
处理容量
最大500LPM
尺寸
900(W)X1050(D)X1850(H)
TRITON
把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体,净化而排放的设备
产品特点
Pre Wet System : 初次水处理延长PM周期
工程程序个别Flame Mode:节省能源
高速空气燃烧器:维持稳定的火焰和低NOX排放
刮刀系统:防止粉末积压
可处理的气体
易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
水溶性气体 : DCS, NH3, ETC