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研究内容

开发新世代亲环境融合洗涤器

在生产半导体、萤幕、太阳能等电子产品的制造工厂,洗涤器可处理在生产过程中产生的有毒气体(例如易燃性、腐蚀性、PFC气体),融合减少温室气体排放的技术和节源技术,大大降低设备的维修保养时间和成本,开发连接SMART Easy PM System的世界级洗涤器。

开发新世代节源冷却器

在生产半导体、萤幕、太阳能等电子产品的制造工厂,精密控制主设备核心配件的温度,同时达成增加收益率和节源两大目标,先导尖端冷冻及冷却技术。