- 机型UN2005A-PL/PLD
- 气体处理方式大用量 BURN WET
- 处理容量最大1500LPM(Single 基准)
- 尺寸1200(W)X1100(D)X1700(H)_UN2005A-PL / 1500(W)X1300(D)X1850(H)_UN2005A-PLD
- UN2005A-PL/PLD
- 可处理大量气体的大用量燃烧湿式洗涤器
- UN2005A-PL/PLD
- 把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备
产品特点
- 可处理大容量 (最大1,500 LPM)
- 双重系统；把设备互相连接，减低系统停顿时间
- 容易管理、Easy PM、柱状结构
可处理的气体
- PFC气体 : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
- 易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
- 水溶性气体 : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
