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W3000
半导体、LED、LCD专用湿法洗涤器
  • 机型W3000
  • 气体处理方式WET
  • 处理容量1500LPM
  • 尺寸1000(W)X1230(D)X1600(H)
W3000
把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备

产品特点

  • 利用Wet Zone的水溶性高效气体处理
  • 排放内部乾空气 : 防止结露
  • 低廉的运行成本

可处理的气体

  • 水溶性气体 : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC