- 机型ATOM1000L
- 气体处理方式PLASMA WET
- 处理容量600LPM
- 尺寸1300(W)X1200(D)X1800(H)
- ATOM1000L
- 生产萤幕CVD专用等离子湿法洗涤器
- ATOM1000L
- 把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备
产品特点
- 高温热平衡等离子
- 专用于生产大容量LCD CVD
- 刮刀系统 : 防止粉末堵塞
- 不使用二次热源(LNG，LPG等)，利用高温等离子 ARC的PFC气体处理装置
可处理的气体
- PFC气体 : NF3, SF6, ETC
- 易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
- 水溶性气体 : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
