- 机型UN2000A-BW
- 气体处理方式HEAT WET
- 处理容量300LPM
- 尺寸850(W)X900(D)X1750(H)
- UN2000A-BW
- 半导体专用热湿法洗涤器
- UN2000A-BW
- 把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备
产品特点
- 乾系统 : 排放最少量的水份
- 使用高温加热器，处理易燃性及水溶性气体
- 运行成本比Burn和Plasma Type低
可处理的气体
- PFC气体 : NF3
- 易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
- 水溶性气体 : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
