- 机型ATOM1000S
- 气体处理方式PLASMA WET
- 处理容量300LPM
- 尺寸800(W)X800(D)X1720(H)
- ATOM1000S
- 半导体专用等离子湿法洗涤器
- ATOM1000S
- 把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备
产品特点
- 高温热平衡等离子
- 高效分解PFC气体 (99%)
- 不使用二次热源(LNG，LPG等)，利用高温等离子 ARC的PFC气体处理装置
可处理的气体
- PFC气体 : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
- 易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
- 水溶性气体 : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
