- 机型MAGMA3000
- 气体处理方式HEAT WET
- 处理容量1500LPM
- 尺寸1280(W)X1300(D)X1850(H)
- MAGMA3000
- LED、LCD专用热湿法洗涤器
- MAGMA3000
- 把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备
产品特点
- 适用于萤幕CVD的大容量处理装置
- 使用高温加热器，处理易燃性及水溶性气体
- 运行成本比Burn和Plasma Type低
可处理的气体
- PFC气体 : NF3
- 易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
- 水溶性气体 : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
