- 机型NECA4000
- 气体处理方式BURN WET (Box Type)
- 处理容量最大6000LPM
- 尺寸1800(W)X1300(D)X1800(H)
- NECA4000
- 用於生产萤幕的大容量Burn-Box Type (不需供水)
- NECA4000
- 把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备
产品特点
- 可处理大容量 (最大6,000 LPM)
- 高效处理易燃性及PFC气体
- 节省UT : 不使用CW
- 容易管理、Easy PM、柱状结构
可处理的气体
- PFC气体 : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
- 易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
