본문 바로가기

주메뉴

设备部门

home > 设备部门 > SCRUBBER > DRY TYPE > ARENS
ARENS
乾法树脂洗涤器
  • 机型ARENS
  • 气体处理方式树脂 (药剂)
  • 处理容量200LPM
  • 尺寸870(W)X850(D)X1700(H)
ARENS
把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备

产品特点

  • 以树脂有效地吸收目标气体
  • 不使用CW (节省UT)
  • Powder Trap外部分离型结构

可处理的气体

  • Metal Etch : BCl3, Cl2, HCl, ETC
  • Implant : BF3, PH3, ETC