- 机型1000/2000_Nox Free
- 气体处理方式BURN WET
- 处理容量最大500LPM(Single 基准)
- 尺寸750(W)X850(D)X1800(H)_ECOBRID1000 / 1200(W)X1000(D)X1800(H)_ECOBRID2000
- ECOBRID1000/2000
- 可减低排放NOX, THC的气体洗涤器
- ECOBRID1000/2000
- 把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备
产品特点
- 低NOX燃烧器 : 减低排放NOX, THC
- 高效处理易燃性、水溶性及PFC气体
- 容易管理、Easy PM、气缸结构
可处理的气体
- PFC气体 : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC
- 易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC
- 水溶性气体 : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC
