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UN2000A-DC
吸附式的乾法洗涤器
  • 机型UN2000A-DC
  • 气体处理方式吸附式
  • 处理容量1500LPM
  • 尺寸850(W)X850(D)X1750(H)
UN2000A-DC
把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体，净化而排放的设备

产品特点

  • 利用树脂有效地分解
  • 可有效处理大容量气体

可处理的气体

  • Metal Etch : BCl3, Cl2, HCl, ETC
  • Implant : BF3, PH3, ETC